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第61章 这个问题十分重要 (第1/2页)

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先,程旭对方案整体做了一番介绍,而每个人的面前也都有了一份相关的信息资料。

“智能控制器...远传回路...投影物镜...测温系统...”

“系统初始阶段...物镜温度快调整阶段...精细调整与寻优...稳定阶段...”

一众专家学者、工程师们时而在看每一个环节和阶段的设计与方案,时而与旁边的同行做着讨论与交流。

“你看,这个设计,整体是一个串级控制系统,由主副反馈回路构成,而双输入双输出的实际控制是由非线性控制器来完成的。

“控制器通过滚动优化,从而不断获得最优温度,进而实现根据光刻机需求,将投影物镜设定温度值为常量。

“那核心的问题就只剩下一个了,那就是这个控制器,也就是智能控制及其算法。”

“嗯,这个方案确实可行,事实上,这样的设计并不罕见,在很多他采用液体循环控温的复杂对象中都有所使用,理论上是绝对没有任何问题的。

“但实际应用中的效果并不太理想,所以是否能真正实现最终的目标,这其中的核心关键点,你说的没错,就是这个黑盒子。”

所有人纷纷点头,方案的确没有任何问题,所有棘手的问题,比如控制算法、决策集、推理库,最终的解决方案都指向了这一个点。

这也是相较于其他方案,这个改造最本质也是最核心的区别。

如果这个黑盒子能解决控制问题,那改造方案百分百无疑是可行的。

所有人都知道这肯定不是问题,荷泵体系芯片结合人工智能训练等相关算法最擅长的就是这个。

其中关切也并不需要他们来操心,但,他们耐不住心中的好奇啊!

好不容易逮住程旭当面的机会,有些人就是想问问——人工智能模型经过训练究竟能做到什么程度?

netd啊,言心哪,这些语言模型他们都见过,但是今天这个……他们还真是好奇。

其他人还好说,仅仅只是好奇而已。而有一个人不一样,此时,他已经完全坐不住了。

这个人他叫常海锋,是国科精密的工程师,国科精密就是沪微ssa8oo/2o型号光刻机的光学系统供应商。

从资料一拿在手里,他就一直望着黑盒子的这个部分,久久都没有回过神儿来。心里一直在寻思一件事儿

如果有一个黑盒子,能智能控制光学物镜的生产过程,那物镜的精度是不是也能有一个较大的提高?

如果物镜的精度提高了,直接能满足28nm甚至更高级别的光刻机的需求了,那是不是也能解决现在的问题?

经过一番思考,常海锋脑海里迅的形成了自己的思路闭环,觉可行就立即行动,将思路、现在的情况以及可行性送给了自己的领导。

做完了这一切,观察了一下周围的情况,看大家也都在讨论着黑盒子的情况,自己也是在那跟着附和。

……

“好!”

听着众人议论纷纷的焦点,沪微28nm光刻机总设计师梁振此时开口了

“今天我们所有的评估都是围绕黑盒子之外的流程来进行的,黑盒子的功能如何实现,能否实现不在我们这次评审的范围。

“后续,沪微所需要做的工作,也是黑盒子之外的这个部分。

“今天评审的主要内容就是方案的可行性以及在现有技术条件下,我们实现这些部分,还需要哪些工作或者是突破。

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